装饰性黑色(枪黑)膜镀膜工艺剖析

摘要：

本文回顾了三极反应磁控偏压溅射设备的初始结构及枪黑色膜层工艺的由来，并究其实质---为什么黑的本质做了初步探讨，认为这是一个很值得研究的课题。

关键词： 反应磁控溅射 三极溅射 黑色膜 离化速率 SP2 枪黑色膜层工艺

作者: 杨子伟

作者单位: 天津热处理研究所 300384 广州万尔体育用品有限公司 511356

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 81-97

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）