物理气相沉积硬质薄膜及在机械功能领域上的应用

摘要：

材料的磨损、腐蚀及其它环境损伤是机械工业面临的基本问题之一，近年来，由离子参与和等离子体增强的各种气相沉积技术为解决这一问题提供了有效的途径。物理气相沉积(PVD)是制备硬质薄膜的主要方法之一，许多技术已实现工业化生产。本文综述了物理气相沉积技术制备的各种机械功能薄膜的性能及应用情况，并总结了广州有色金属研究院在这方面的研究开发工作。

关键词： 物理气相沉积 硬质薄膜 工模具 机械功能 等离子体增强 薄膜制备

作者: 代明江 林松盛 侯惠君 李洪武 朱霞高 林凯生

作者单位: 广州有色金属研究院 广东 广州 510651

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 74-80

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）