减反膜制备工艺及其应用

摘要：

减反膜在现代光学薄膜生产中占有十分重要的地位，其研究依赖于制备工艺。本文结合近几年来国内外的研究现状，叙述了几种不同的减反膜制备方法，分析了各种制备方法的工艺特点以及各自的优缺点，如真空蒸镀、溅射镀和溶胶-凝胶等，提出了相应的改进方法，并分析了这些工艺在减反膜制备中的应用前景。

关键词： 光学薄膜 减反膜 制备工艺 真空蒸镀 溅射镀

作者: 罗海燕 黄光周 马国欣 朱建明 戴晋福

作者单位: 华南理工大学电信学院 广州 510640 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆市 526060

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 53-57

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）