激光器高反膜镀制工艺研究的新进展

摘要：

本文叙述了近几年国内外的研究进展，包括激光高反膜几种不同的制备工艺，如电子束蒸发沉积、离子束辅助沉积、离子束溅射沉积和溶胶-凝胶沉积法等，分析了各种制备方法及工艺的特点；针对高反膜的抗激光损伤阈值低从而影响激光器输出功率的问题，讨论了提高损伤阈值的途径；最后归纳了各种制备工艺的优缺点，并探讨了进一步提高薄膜反射率的可能性。

关键词： 激光器 激光高反膜 镀制工艺 反射率 损伤阈值 离子束辅助沉积

作者: 邓婷 黄光周 刘雄英 朱建明 戴晋福

作者单位: 华南理工大学电子与信息学院 广州 510640 广东肇庆市科润真空设备有限公司 肇庆 526060

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 47-52

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）