用电子束蒸发法制备硅薄膜的表征与性能分析

摘要：

本实验选用P型硅作为蒸发膜料，用电子束蒸发的方法在导电玻璃上制备了一定厚度且均匀的硅薄膜，利用扫描电子显微镜观察了其微观表面形貌并做了能谱分析，利用分光光度计分析了其光学性质，利用四探针电阻测试仪对其进行电学性质的测量。结果表明，所制备的样品在可见光范围内具有好的吸收性，在衬底温度为200℃时的面电阻为8.5×104Ω/□，为后续硅薄膜太阳电池的制备工作可行性打下了基础。

关键词： 电子束蒸发法 硅薄膜 太阳电池 导电玻璃 分光光度计

作者: 李明华 卢志坚 沈辉

作者单位: 中山大学太阳能系统研究所 广州 510006 广州志坤光电科技有限公司 广州 511442

会议类型: 国内会议

会议名称: 07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会

会议地点: 广东东莞

会议语种:中文

页码: 24-27

在线出版日期: 2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）