太阳能产业的真空解决方案的最新进展
使用可再生能源是解决化石燃料枯竭和全球变暖问题的根本方法。应用高新技术促进可再生能源的应用，保护环境将是未来产业和经济发展的主旋律。真空技术是光伏(太阳能)产业的核心技术之一，它广泛的应用于基片制造，薄膜淀积和电池封装等工艺。同时光伏产业对玻璃基片和有机基片的需求也对真空技术提出了更高的要求。本文介绍了用于光伏产业的真空泵必须达到的一些要求。在硅基片光伏技术中淀积SiN防反射膜可以采用溅射或PECVD工艺。封装硅太阳能电池组或玻璃基片的成品需要使用层压工艺。
太阳能 可再生能源 真空技术 层压工艺
刘坤 巴德纯 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶
东北大学真空与流体工程研究中心 沈阳 110004
国内会议
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
广东东莞
中文
10-12
2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）