国外高真空直排大气干泵研发的最新进展
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化，人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年，国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵，并实现了商业化，已经应用于实际生产中。 本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例，简单介绍了其原理、结构、性能，为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考和启示。
干式真空泵 高真空 直排大气干泵 半导体设备
刘坤 巴德纯 杨乃恒 常学森 李涛 陈瑶
东北大学真空与流体工程研究中心 沈阳 110004
国内会议
07中国(华南地区)真空与光电技术论坛暨广东省真空学会学术年会
广东东莞
中文
3-8
2007-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）