声表面波滤波器纳米薄膜力学性能

摘要：

在LiNbO3单晶上制备出中心频率920 MHz，3 dB带宽小于20MHz，插损11.8 dB的纵向耦合谐振器型滤波器。采用纳米划痕技术对作为叉指电极的磁控溅射铝膜在划痕测试中的弹性与塑性变形，与基体结合强度进行实验测定。结果显示：在划痕实验中存在3种形变；塑性或永久形变，接触区附近表面弹性偏移和划痕凹槽的弹性恢复。涂层与基体结合较好，划痕临界载荷平均值是26 mN。

关键词： 声表面波器件 纵向耦合 滤波器 纳米薄膜 力学性能

作者: 高阳 李晖

作者单位: 清华大学 材料科学与工程系,北京 100084

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国MTS材料试验学术会议

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2004-10-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）