直线电机在精密光刻系统中的应用

摘要：

当今社会各种假冒伪劣产品越来越多，精密光刻系统主要应用于烟、酒等产品商标的防伪。本文介绍了直线电机的结构与原理，以及精密光刻系统的组成与原理。该系统采用了双闭环控制方式，并用英国雷尼绍(RENISHAW)公司生产的高精度光栅作为反馈环节的位置测量单元，这样不仅提高了光刻速度，而且也改善了光刻精度。

关键词： 直线电机 光栅尺 精密光刻系统 电机结构 双闭环控制

作者: 田会峰 刘文杰

作者单位: 苏州大学 机电工程学院，苏州 215606

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电器工业协会微电机分会第五次会员代表大会暨企业名牌战略与微电机技术发展论坛

会议地点: 西安

会议语种:中文

页码: 57-60

在线出版日期: 2007-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）