溅射用电子枪的模拟计算

摘要：

本文介绍了冶金行业溅射用电子枪的计算,通过计算,指导了冶炼电子枪的实际设计,同时验证了计算模型和程序可信性。

关键词： 电真空器件 溅射电子枪 电子枪设计

作者: 寇建勇 李瑶 陈方涛 杨金生 郜长安

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所 北京 100016 中国卫星海上测控部远望二号船 中国有色金属研究院 北京 100088

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 556-557

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）