电子回旋共振放电中电子分布特性的研究

摘要：

本文介绍了电子回旋共振放电(ECR)电离过程的粒子模拟与蒙特卡罗相结合(PIC/MCC)的模型,该模型以带电粒子与微波的相互作用和粒子间的碰撞过程为主体,考虑了电子与中性粒子的弹性、激发、电离碰撞,离子与中性粒子的弹性、电荷交换碰撞。在理论分析基础之上,编写了准三维的ECR放电的模拟程序,对其中的电子分布特性进行了研究,模拟结果很好的解释了ECR放电的电离特性。

关键词： 电真空器件 电子回旋 共振放电 电子分布

作者: 金晓林 杨中海 黄桃

作者单位: 电子科技大学大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室 成都 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 512-514

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）