磁控溅射法制作表面传导电子发射显示器

摘要：

本文介绍了表面传导电子发射显示(SED),采取了一种使用磁控溅射制作SED的方法,它具有发射均匀的优点。SED器件的电极厚度、导电膜材料、导电膜宽度对发射性能有很大影响,文中对这些参数进行了讨论。通过参数的优化,得到了稳定、均匀的电子发射。

关键词： 表面传导电子发射显示器 磁控溅射法 导电膜 电极厚度

作者: 孙宏博 吴胜利

作者单位: 西安交通大学电子物理与器件教育部重点实验室 西安 710049

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 500-503

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）