改进型钪酸盐阴极的实验研究

摘要：

浸渍钪酸盐阴极由于存在发射不均匀、抗中毒能力差和不耐离子轰击等缺点,在制管使用过程中特别是在要求长寿命高可靠性的微波管中受到了一定的限制。本文在普通的浸渍钪酸盐阴极表面溅射沉积一层颗粒度为纳米级的钨膜,以期达到改善浸渍钪酸盐阴极发射均匀性的目的。

关键词： 电真空器件 钪酸盐阴极 阴极制备 纳米钨膜 溅射沉积

作者: 袁海清 阎肃秋

作者单位: 中国电子科技集团公司第十二研究所阴极电子学研究室 北京 100016

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国电子学会真空电子学分会第十六届学术年会暨军用微波管研讨会

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 401-404

在线出版日期: 2007-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）