微晶玻璃超光滑表面抛光方法与工艺技术

摘要：

超光滑表面在现代工业和国防领域的应用越来越多,但由于其对加工工艺和环境以及设备的要求苛刻,使得超光滑表面的获得还存在较大难度。针对激光陀螺反射镜常用微晶玻璃的加工工艺,本文介绍了一种较为成熟的超光滑表面加工方法——定偏心浸液式抛光,采用这种方法进行多次微晶玻璃超光滑表面的工艺实验,稳定地获得了埃量级的超光滑表面,精度可达平面度0.041mP-V/Φ60mm,表面粗糙度Ra0.32nm。

关键词： 微晶玻璃 玻璃加工 超光滑表面 抛光

作者: 杨志甫 刘祎 房建国

作者单位: 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室,北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议

会议地点: 湖北襄樊

会议语种:中文

页码: 130-136

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）