X射线衍射技术对InSb材料的无损检测

摘要：

运用X射线衍射技术,对InSb材料的结晶质量进行检测,是判定InSb材料质量的重要方法之一。采用2θ-ω对称扫描,对(111)、(333)、(044)不同衍射面进行了ω扫描,得到了InSb不同衍射面之间强度和半峰宽度的规律；对晶片上不同位置进行了同一衍射面的ω扫描,得到半峰宽度的mapping,此外,还对材料进行了倒易空间(RSM)扫描。测试结果表明：InSb材料结晶质量完好,均匀性好,符合制造良好光电器件的标准。

关键词： InSb材料 X射线衍射技术 材料检验 无损探伤 半导体材料

作者: 王武杰 赵岚 陈慧娟 何英杰 傅月秋 鲁正雄

作者单位: 中国空空导弹研究院,洛阳 471009

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议

会议地点: 湖北襄樊

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）