微光机电系统在先进武器装备中的应用

摘要：

随着微光机电系统技术的发展,选用的材料已经从传统的半导体材料向功能结构材料开始转变,相应的制造技术也从半导体工艺向特种加工、超精密加工等先进制造技术发展。由于材料及其制造技术的进步,又使微系统的性能不断提高,其应用领域也不断扩大,在先进武器装备的微型传感器、微光学结构阵列、微小动力装置、微伺服阀等方面得到了广泛应用。

关键词： 微光机电系统 先进武器 制造工艺

作者: 杨辉

作者单位: 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室,北京 100076

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议

会议地点: 湖北襄樊

会议语种:中文

页码: 117-121

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）