微光机电系统制造技术探索

摘要：

本文简要介绍了微光机电系统(MOEMS)制造技术的现状,主要针对硅微机械加工技术和LIGA技术,讲述了这些技术的原理和工艺流程。最后指出了MOEMS制造技术的发展趋势。

关键词： 微光机电系统 LIGA技术 机械制造工艺 机电一体化

作者: 蔡亚梅

作者单位: 西安飞行自动控制研究所,西安 710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议

会议地点: 湖北襄樊

会议语种:中文

页码: 64-66

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）