微光机电系统制造工艺简述

摘要：

本文重点阐述了微光机电系统(MOEMS)的基本制造工艺:硅微机械加工技术和LIGA技术,并介绍了几种典型的工艺应用。最后对其的发展进行了展望。

关键词： 微光机电系统 MOEMS 机械制造工艺 LIGA 机电一体化

作者: 周易 纪引虎

作者单位: 西安飞行自动控制研究所,西安 710065

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国航空学会工艺专业分会辅机学组2007年度学术会议

会议地点: 湖北襄樊

会议语种:中文

页码: 58-62

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）