等离子体辅助制备窄带滤光片

摘要：

研究了采用等离子辅助技术制备窄带滤光片的工艺。介绍了等离子辅助蒸镀系统的基本工作原理，描述了优化膜厚均匀性的过程。在有色玻璃上制备了由多层TiO<,2>和SiO<,2>薄膜组成的窄带滤光片,测试并分析了窄带滤光片的性能。试验结果表明,采用等离子体辅助蒸镀技术能够批量制备具有优良光学性能的窄带滤光片。

关键词： 光学薄膜 窄带滤光片 等离子辅助沉积 光学性能

作者: 袁宏韬 张贵彦

作者单位: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033 中国科学院研究生院 北京 100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国光学技术交流会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 206-207,209

在线出版日期: 2007-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）