移相干涉测量中的抗振技术

摘要：

移相干涉测量技术是一种众所周知的非接触式的高精密测量方法,具有广泛的应用范围。环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一,国际上一些从事干涉测量的工作人员提出了许多抗振的方法,大体上分为主动技术和被动技术。主动抗振技术主要是系统自身探测振动并通过反馈回路对振动进行补偿,被动抗振技术则是通过各种技术措施尽量减小干涉仪对环境振动和气流影响的敏感度。从这两方面对干涉仪的抗振技术研究的进展做简单介绍,并介绍了作者所在课题组在这两个方面所进行的研究工作。

关键词： 光学测量 移相干涉仪 主动抗振 被动抗振 干涉测量

作者: 左芬 陈磊

作者单位: 南京理工大学电光学院 南京 210094 淮阴师范学院 淮阴 223001 南京理工大学电光学院 南京 210094

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届全国光学技术交流会

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 164-167,170

在线出版日期: 2007-04-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）