四甲基碳酸氢铵电解合成四甲基氢氧化铵
四甲基氢氧化铵(TMAH)分子式(CH<,3>)<,4>NOH,为无色结晶(常含3,5个结晶水)是一种强有机碱,极易吸潮,在空气中能迅速吸收二氧化碳,在135-140℃完全气化。TMAH 1wt％水溶液的pH值为12.9,与苛性碱有同等程度的有机强碱,在工业上有广泛的应用,如可用于硅橡胶、硅树脂和硅油等有机硅产品合成中的催化剂、聚酯化合物的合成。因TMAH独特的热分解性质,被广泛用于电子领域作为集成电路的清洗剂和半导体微加工技术中的腐蚀剂,当TMAH用于电子领域中时,要求TMAH中的杂质含量很低.TMAH的制备方法国内早期使用氧化银法，但是这种方法原料昂贵，而且产品含有较高的杂质离子，无法满足电子领域清洗和腐蚀的要求.还有部分厂家使用电解法制备TMAH，以四甲基氮化铵(TMAC)为原料电解制备TMAH，但是这种方法也有自身的缺陷。本文使用四甲基碳酸氢铵为原料，采用恒电流法电解制备TMAH，可以很好的解决这些问题。
四甲基碳酸氢铵 电解合成 四甲基氢氧化铵
汪武平 张新胜
华东理工大学联合化学反应工程研究所,上海,200237
国内会议
扬州
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1003-1004
2007-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）