快速采样法的高细分倍数光栅纳米测量

摘要：

提出了光栅信号快速采样与精确测量相结合的光栅纳米测量方法,给出了在高速测量条件下的光栅纳米测量的细分算法、信号快速采样和数据处理。测试结果表明,测量速度与光栅细分倍数无关,当选用光栅栅距为20mm的光栅尺,在2000000倍的细分数下,能够实现小于1nm的有效测量分辨率和每光栅周期仅采样10个点的测量速度。

关键词： 光栅信号测量 高细分倍数 快速采样法 纳米测量 数据处理

作者: 徐从裕 余晓芬

作者单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥 230009

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会

会议地点: 重庆·云南丽江

会议语种:中文

页码: 368-371

在线出版日期: 2007-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）