解耦型微机械陀螺仪气体阻尼机理分析

摘要：

分析了微机械陀螺仪中气体阻尼的作用机理，微陀螺仪主要结构:框架,支撑梁,驱动梳齿和差分电容梳齿都简化成大长宽比的长条板模型,进而简化压膜阻尼和滑膜阻尼的计算模型。给出了微机械陀螺仪驱动模态和敏感模态的阻尼系数。试验得到微机械陀螺仪在100Pa到105Pa气压范围内驱动和敏感两个振动模态的品质因子与大气压强的关系曲线。微机械陀螺仪驱动模态品质因数Q的理论值与测试结果的误差约为8％,敏感模态品质因数Q的理论值与测试结果的误差约为6％。

关键词： 解耦型微机械陀螺仪 驱动模态 气体阻尼 品质因子 压膜阻尼 滑膜阻尼 振动模态

作者: 梁新建 高世桥

作者单位: 北京理工大学宇航科学技术学院 北京 100081

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会

会议地点: 重庆·云南丽江

会议语种:中文

页码: 85-89

在线出版日期: 2007-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）