基于启发式搜索的半导体集束设备调度

摘要：

集束设备是8英寸以上晶圆加工的重要设备,其独特的物理结构以及特殊的半导体工艺使其调度不同于一般Job Shop调度问题。针对一种双臂机器手、在各加工单元内驻留时间受限、可重进加工类型的集束设备,在分析其调度的独特性和复杂性基础上,提出了基于启发式搜索的解决方法,并通过实例分析了算法的性能,最后总结了算法的可行性和扩展性。

关键词： 半导体集束设备 设备调度 启发式搜索

作者: 耿沿锋 康凯 王宏

作者单位: 中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳 110016;中国科学院研究生院 北京 100039 沈阳中科博微自动化技术有限公司 沈阳 110016 中国科学院沈阳自动化研究所 沈阳 110016

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年首届仪表、自动化与先进集成技术大会

会议地点: 重庆·云南丽江

会议语种:中文

页码: 545-548

在线出版日期: 2007-12-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）