光纤点衍射干涉仪测量凹球面面形

摘要：

根据单光纤点衍射干涉仪方案构建了一个测量凹球面面形的实验光路对一样品进行测量。经过精密调整获得干涉图并用CCD采集后输入计算机,通过对干涉图的处理获取被检波面的面形误差,用Zernike多项式进行了波面拟合。干涉图像处理结果能反映出被测镜面形误差分布,与Zygo干涉仪的测量结果基本一致。最后分析了设计与实验中存在的问题提出了有针对性的改进方案。

关键词： 光学测量 光纤点衍射干涉仪 球面面形测量 波面拟合

作者: 吴朔 沙定国 林家明 周桃庚 陈凌峰 聂亮

作者单位: 北京理工大学光电工程系 北京 10081

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第九届青年学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 238-241

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）