机器人化纳米刻画的建模及实时显示研究
利用AFM探针刻画方式可进行MEMS掩膜图案等的制备与修复研究,本文针对软朔性材料,建立了AFM探针刻画时的刻痕尺寸模型,依据该模型及探针的实际受力与位置信息,可得到刻痕的实时位置与尺寸,并借助虚拟现实技术将刻画过程实时显示在视觉界面上。在上述研究基础上,操作者可在线控制纳米刻画的过程及结果,对聚酯基片的纳米刻画实验初步验证了上述模型的有效性。
机器人 纳米刻画 刻痕尺寸模型 软朔性材料 AFM探针
田孝军 王越超 席宁 董再励
中国科学院沈阳自动化研究所 机器人学重点实验室 沈阳 110016
国内会议
合肥
中文
37-40
2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）