基于光学测微及CCD细分原理的比较测微仪的研究

摘要：

本文利用光学测微原理对微小尺寸进行初级放大,通过读数系统将微小尺寸转变为光栅像的移动,从而获得测量尺寸放大的莫尔条纹信号,再利用CCD分辨率高,象素均匀的特点,对莫尔条纹进行细分,从而提高了测长系统的分辨率和精度,精度可达到0.5um。

关键词： 光学测微 CCD细分 比较测微仪 光栅像 莫尔条纹信号 分辨率

作者: 肖作江 曹维国 石丽霞 李丽娟 安志勇

作者单位: 长春理工大学生命科学学院 长春 130022

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第九届青年学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 877-879

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）