低碳钢样品化学机械抛光的试验研究

摘要：

本文探讨了化学机械抛光(CMP)技术在钢件加工中的应用.试验采用绿色BRT-11抛光液.与传统磨料机械抛光技术的对比试验表明:对于钢件的加工效率而言,CMP技术提高了3倍；表面粗糙度降低近1倍.最后本文对CMP抛光钢件的机理及影响因素进行了初步分析,表明CMP技术抛光钢件时,钢件表面在抛光液的作用下表面形成了软质层,这层软质层的形成,一方面提高了抛光效率,另一方面也改善了钢件表面质量.将抛光后的试件放入自行研制的水基防锈液中,具有良好的防锈效果,使用方便。

关键词： 化学机械抛光 磨料机械 表面粗糙度 软质层

作者: 赵永武 王永光 贾晓华 宋仁军

作者单位: 江南大学机械工程学院 江苏无锡 214122

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007年全国表面工程行业清洁生产节能、节材减排创新交流大会

会议地点: 江苏无锡

会议语种:中文

页码: 220-224

在线出版日期: 2007-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）