射频磁控溅射中杂散磁场对Ni<,80>Co<,20>薄膜各向异性的影响

摘要：

该文报道了在射频磁控溅中靶基内的磁体所产生的杂散磁场对沉积的Ni<,80>Co<,20>单层膜的面内各向异性的影响，发现该杂散磁场对较薄的Ni<,80>Co<,20>单层膜衣导出感生各向异性。

关键词： Ni<,80>Co<,20> 金属薄膜 各向异性 磁控溅射 坡莫合金

作者: 龙建国 潘明虎 陈景 杜军 胡安 鹿牧

作者单位: 南京大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国磁学和磁性材料会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 153-154

在线出版日期: 1999-08-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）