点光源曝光对精细线路制作的影响

摘要：

本文针对2-3mil精细线路制作中点光源曝光带来的一系列问题，进行了大量试验,并结合理论分析,确定了点光源曝光参数以及曝光操作对精细线路制作的影响,为常规设备的精细线路曝光制作提供了参考和借鉴。

关键词： 点光源曝光 精细线路制作 曝光操作 曝光制作

作者: 田玲 李志东

作者单位: 广州市兴森电子有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 2007中日电子电路秋季大会暨秋季国际PCB技术/信息论坛

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 270-276

在线出版日期: 2007-10-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）