空心微珠表面镀二氧化钛薄膜的研究

摘要：

采用脉冲磁控溅射方法,开展了在空心微珠表面镀二氧化钛薄膜的研究。通过场发射扫描电子显微镜(FESEM)、光电子能谱仪(XPS)和X射线衍射仪(XRD)等测试仪器对其表面形貌、膜厚、组分及结构进行了测量与分析。实验与结果分析表明,通过控制微颗粒的运动方式,采用脉冲磁控溅射镀二氧化钛薄膜,可以在空心微珠表面镀上均匀性好、附着力强和致密性好的薄膜。XRD结果表明:空心微珠表明所镀二氧化钛膜未形成结晶,为无定形态。

关键词： 脉冲磁控溅射 二氧化钛薄膜 空心微珠 真空镀膜

作者: 俞晓正 沈志刚

作者单位: 北京航空航天大学 粉体技术北京市重点实验室,北京 100083;国家纳米技术产业化基地,天津 300457

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国颗粒制备与处理学术和应用研讨会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 238-241

在线出版日期: 2007-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）