硅微加速度计梳指结构的辐射效应分析

摘要：

电离辐射在硅微加速度计梳指结构的绝缘层中产生俘获电荷,使微加速度计的输出产生漂移,这种辐射效应可以用梳指结构中的附加静电力来表示.研究用通用有限元软件ANSYS计算附加静电力的方法,并且进行了仿真分析,根据计算结果,对比分析两种硅微加速度计的辐射效应,研究绝缘层与敏感单元间距对附加静电力的影响.

关键词： 微加速度计 辐射效应 FEM 电离辐射

作者: 郑英彬 许献国 高杨

作者单位: 中国工程物理研究院 电子工程研究所,四川省绵阳市919信箱512分箱,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 154-157

在线出版日期: 2007-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）