反熔丝0N0工艺技术研究

摘要：

本文针对国外反熔丝的技术在存储器等方面的应用及国内用户的需求,开展反熔丝的工艺技术研究,通过反熔丝结构的设计、工艺、测试的试验研究,达到满足在此方面的需要的工艺条件。

关键词： 反熔丝技术 ONO工艺 半导体不挥发性存储器

作者: 陈桂梅 唐冬

作者单位: 中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳市陵园街二十号,11032

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 74-77

在线出版日期: 2007-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）