遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中的应用

摘要：

薄膜的光学常数、厚度以及表面粗糙度是表征薄膜宏观性质的重要物理量。本文通过全局优化算法──遗传(GA)算法来拟合软X射线反射率数据得到薄膜的光学特性参数。文章介绍了遗传算法的工作原理和薄膜参数拟合中的详细实施步骤,并对薄膜的理论计算及实验测量反射率分别进行分析,计算表明遗传算法在软X射线薄膜反射率多参数拟合中有较高的精度和较快的运算速度,可以无损获得薄膜光学特性参数,具有一定实用价值。

关键词： 薄膜参数 参数测量 遗传算法 反射率 参数拟合 薄膜光学

作者: 陈凯 崔明启 郑雷 赵屹东

作者单位: 高能物理研究所,中国科学院,100039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第13届全国计算机、网络在现代科学技术领域的应用学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 30-33

在线出版日期: 2007-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）