用于等离子体注入的高频高压全固态脉冲功率源

摘要：

本文通过对该Marx发生器系统原理详细分析，设计出系统各部分的详细参数并选取了合适的器件，提出并改进了一种新颖的自取电IGBT驱动电路，通过假负载测试给出了电源输出波形，并且将整套系统用于等离子源离子浸没式注入实验中，给出等离子体负载输出波形。

关键词： 等离子体注入 高频高压 全固态脉冲功率源

作者: 刘克富 吴异凡 邱剑

作者单位: 复旦大学电光源研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会高能电子学专业委员会第五届学术交流会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 217-220

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）