多通道真空弧离子源研究

摘要：

本文介绍了一种新型的多通道强流单次脉冲真空弧离子源。该离子源在工作时可以产生多个稳定的放电通道,与单一放电通道的真空弧离子源相比,在相同的大电流工作条件下,多通道真空弧离子源放电等离子体中的杂质成分更少,引出束流的品质更好,同时,离子源工作时的重复性和稳定性也更好。

关键词： 真空弧离子源 稳定性 放电通道

作者: 唐平瀛 戴晶怡 谈效华 石磊

作者单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳,621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 四川省电子学会高能电子学专业委员会第五届学术交流会

会议地点: 银川

会议语种:中文

页码: 149-152

在线出版日期: 2007-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）