一种新理论在石英谐振力传感器加载方式中的设计和应用
本研究提出了通过ANSYS分析计算石英谐振器电极中心应力来分析石英谐振器的力频特性的一种新理论方法。并利用此方法对石英谐振器的加载方式进行了研究,结果表明实验和ANSYS分析结论几乎一致,相对误差约为1.3%,利用此方法设计能明显提高石英谐振力传感器的性能。
石英谐振器 传感器加载 力频特性 加载方式
宁永怀 田文杰
北京信息工程学院传感器技术研究中心 北京 100101
国内会议
北京
中文
111-113
2007-01-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)