量子化霍尔电阻器件的发展现状与制作工艺

摘要：

自从1990年国际计量委员会决定采用量子化霍尔效应作为直流电阻基准,愈来愈多的国家计量院正采用QHR作为国家直流电阻基准。但是,能够制作并研究量子化霍尔器件的实验室并不多。本文简要介绍了器件制作的关键工艺和目前国际上的研制现状。

关键词： 量子化霍尔器件 直流电阻基准 薄膜器件

作者: 钟青 贺青

作者单位: 中国计量科学研究院,北京 100013

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国电磁计量大会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 117-120

在线出版日期: 2007-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）