高頻寬電子細分割方法
受到类比数位转换器(A/D)取样频宽的限制以及并联架构的同步进位问题,目前市售解析度不低於1/1024的电子细分割装置,输入频宽皆无法满足高速奈米定位之需求。本文讨论一种高频宽电子细分割装置,利用类比数位转换器读取光学尺输出的电压信号,经由反切(arctan)计算查表法计算光学尺正光栅与副光栅相对位置,位置解析度为光学尺光栅周期之1/1024;利用韧体计数器纪录光学尺光栅周期以提升电子细分割输入频宽;利用逻辑决策方法解决了反切计算查表法与韧体计数器之间因为并联架构产生的进位误差。此一电子细分割装置,将输入频宽提升为10MHz,并且将光学尺位置解析度提升1024倍,满足产业机械对高速奈米定位的需求。
电子细分割 高速奈米定位 进位误差 输入频宽 类比数位转换器 光学尺位置解析度
黃煥祺 張中柱
工研院量測技術發展中心
国内会议
台北
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453-461
2007-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）