應用像散法於顯微鏡自動對焦之研究
本研究目的在於设计开发一高敏感、即时快速之自动对焦显微镜检测系统,整合像散对焦原理及显微镜取像检测功能,实现在对焦耗时<O.3sec内进行线上快速扫描检测并同时达到微米级的对焦解析度。本系统应用像散对焦原理(astigmatism)於一般显微检测平台中,该自动对焦模组可直接加装於原有的光学显微取像仪器中,像散现象将与待测物光程位移转换成反射光斑形状变化,由四象限光感测器(four quadrant photodiode)与记号处理介面,将该光斑形状转成对焦误差讯号。透过过光学分析软体进行本系统光斑形状与位移变动量的关系模拟,再以实际架构所实验得对焦误差讯号(focus error signal, FES)与位移之联系曲线(S-curve)进行两者比较,最後以标准位移计做为系统性能校正测试参考标准并评估探讨本系统之解析能力、重现性与线性可量测范围。
自动对焦 显微镜检测 像散法 四象限光感测器 像散对焦 位移变动量
李建興 许巍耀 陳念祖 何承舫 陳柏睿 陳峰志 陳建人
國研院儀器科技研究中心
国内会议
台北
中文
87-91
2007-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）