集成MEMS流量芯片及其应用

摘要：

本文介绍自主研发的、处于世界领先水平的系列MEMS(MicroElectro Mechanical Systems, 微电子机械系统)低功耗质量流量芯片的设计原理、性能和应用。该专利MEMS流量芯片作为一次传感核心部件,除了可测量超大量程的流量参数以外,还可以同时获得介质的温度、浓度等参数。配以专门为此开发的低功耗的二次智能电路,可制作用于纯净介质,具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快、全量程高精度及易于远传和网络化管理全电子流量计以及各类传感器。

关键词： 微电子机械系统 质量流量芯片 流量参数 电子流量计

作者: 黄立基

作者单位: 美国矽翔微机电系统(上海)有限公司 上海 200233

会议类型: 国内会议

会议名称: 2006年全国流量测量学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 254-258

在线出版日期: 2006-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）