基于丝网印刷的氧化锌阴极放气特性研究

摘要：

在场发射器件中,比如场发射显示器件中,阴极放出的真实气体常常被阳极、栅极以及器件封接过程放出的气体所掩盖。本文利用四极质谱研究了场发射显示器件中基于丝网印刷的氧化锌阴极的放气特性。氧化锌阴极放出的气体成分主要是一氧化碳、二氧化碳、甲烷和氢气。我们发现这些气体不仅仅来自于氧化锌阴极表面吸附气体的解吸附,更可能的是来自于氧化锌阴极材料的化学吸附的气体和氧化锌阴极浆料中未分解的有机原料。氧化锌阴极放气特性的研究对其能成为可靠的场发射冷阴极具有重要意义。

关键词： 放气特性 氧化锌 阴极 四极质谱

作者: 崔云康 张晓兵 雷威 肖梅 王金婵 狄云松 毛福明

作者单位: 东南大学电子科学与工程学院,江苏南京,210096 南京工程学院基础部,江苏南京,210013 东南大学电子科学与工程学院,江苏南京,210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 183-186

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）