四极质谱计在高压力下的测量方法

摘要：

四极质谱计是一种分压力测量仪器,其线性上限一般为10<”-3>Pa。本文通过对影响四极质谱计测量上限的因素进行分析,得到高压力下的分压力计算方法,并通过实验验证了该方法的可行性,得出的结论对高压力下四极质谱计的应用具有一定的参考价值。

关键词： 四极质谱计 分压力 灵敏度 测量方法

作者: 卢耀文

作者单位: 兰州物理研究所,甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 145-152

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）