提高静态膨胀法真空标准装置校准的精度
静态膨胀法真空标准装置作为真空计量最高标准,提高其测量精度是非常必要的。目前静态膨胀法真空标准装置不确定度的主要来源是体积比的测量,在一级膨胀、二级膨胀、三级膨胀校准方法中,三级膨胀法引入的不确定度最大。本文提出采用微压式数字气体活塞压力计(DHERS5)和数字气体活塞压力计(DPG8)组合的方法测量起始压力,一般静态膨胀法真空标准装置的测量范围为(1×10<”-4>～1×10<”4>)Pa,采用此方法进行二次膨胀,就可满足校准的需求。通过对起始压力和体积比测量不确定度的评定,得出采用数字式气体活塞压力计组合测量起始压力,校准1×10<”-4>Pa时的不确定度为0.26％,远远小于三级膨胀的不确定度。因此采用这种方法测量前级压力可行,并提高了静态膨胀法真空标准装置校准的精度。
气体活塞压力计 静态膨胀法 真空标准装置 真空校准 起始压力 不确定度
赵光平
兰州物理研究所,甘肃兰州 730000
国内会议
甘肃敦煌
中文
125-130
2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）