氦质谱检漏仪家族新成员─ZQJ-530

摘要：

介绍本公司新研发的一款氦质谱检漏仪ZQJ-530。该仪器是目前国内拥有自主知识产权的一款自动化程度较高的,灵敏度较高,操作简单,工作稳定的小型化检漏仪,可以与国外检漏仪相媲美。本文给出了该检漏仪的结构与特点,介绍了仪器的配置及主要性能参数。

关键词： 氯质谱检漏仪 ZQJ-530 单片机

作者: 李智

作者单位: 北京中科科仪技术发展有限责任公司 北京海淀区中关村北二条13号 100080

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 94-97

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）