基于阳极键合工艺的微型气室封装
微型气室的制作是微型原子钟和微磁力计等器件研制中不可或缺的关键技术。国际上只有为数不多的一些研究机构在从事这方面研究工作,国内目前还没有相关研究报道。我们课题组承担了863项目的相关课题,在微型气室的制作方面开展了探索性研究。基于阳极键合技术,我们设计了专用的真空封装设备,在打孔硅片的一面先键合了Pyrex玻璃,充气后再在另外一面键合Pyrex玻璃,从而实现了3.5mm<”3>体积的微型气室封装。氦质谱检漏结果显示,总漏率小于2.0×10<”-11>Pam<”3>/s.据此估算,微型气室的寿命长于41天,能够满足现阶段的实验要求。
阳极键合 封装 微型气室 原子钟
焦洁 苏娟 郭等柱 张耿民 汪中
北京大学信息科学技术学院,北京 100871
国内会议
甘肃敦煌
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2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）