氦质谱检漏仪与校准漏孔

摘要：

本文分析了渗氯型真空校准漏孔的漏率(经计量技术机构校准)在氦质谱检漏仪上示值的差异;提出用氦质谱检漏仪判定校准漏孔的漏率值是否准确的方法和允差计算方法;建议检漏仪应配备外置校准漏孔。

关键词： 氦质谱检漏仪 外置校准漏孔 定量检漏

作者: 周起春

作者单位: 中国计量科学研究院 北京通州区万盛北里374号楼212室 邮编:101121

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 44-46

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）