渗氦型真空漏孔漏率的温度修正

摘要：

由于石英的渗透系数与温度成指数函数关系,因此渗氦型真空漏孔对温度非常敏感,在使用时需要对漏孔校准值进行温度修正。本文通过对一支渗氦型真空漏孔在16℃～40℃度范围内的漏率校准,给出了漏率随温度变化的两种修正方法──指数修正法和线性近似修正法,以及两种方法的修正结果。

关键词： 渗氦型真空漏孔 S漏率 温度修正

作者: 赵澜 张涤新 郭美如 冯焱

作者单位: 兰州物理研究所,甘肃兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 32-39

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）