氦质谱大气累积检漏法误差分析
本文介绍了氦质谱大气累积检漏法的基本原理、测试过程的误差分析及解决的措施。对目前氦质谱大气累积检漏法存在的问题进行了分析,认为:在一次完整的测试过程前,应检查检漏口的压力值,发现异常及时处理,在测试过程中尽量不动,维持固定的检漏口压力值;在测试过程中采取同样的循环方式,可以减小测试的误差;测试保压时间为24h或48h,这样可以减小大气压变化、温度变化对检漏口压力的影响。要求氦质谱检漏仪对于低浓度的氦气(如空气的本底5ppm),相同的气体在一定的时间内要反应相同的值。当被检件的漏率较大,或者放样时间较长时,需要利用公式(4)对漏率进行修正。收集容器的材料应该尽量采用对氦气吸附较小的金属材料,如不锈钢。
氦质谱 大气累积检漏法 误差分析 真空检漏
师立侠 闫荣鑫
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2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）