氦质谱细检漏漏率公式与内部水汽含量研究

摘要：

通过对氦质谱细检漏漏率公式的推演及内部氦气和水汽含量的计算,文章研究指出:应该以真实的氦气标准漏率L<,He>代替虚拟的等效(空气)标准漏率L;氯气交换时间常数(s)<,He>是衡量相对密封性的简明特征参数;在恰当地处置测量漏率的偏差后,可以运用推演的公式进行典型气体交换过程的工程计算;目前密封元器件的漏率判据普遍保证不了经筛选和几个月贮存后的内部水汽含量要求。

关键词： 氦质谱细检漏 漏率公式 氦气标准漏率 氦气交换时间常数 内部水汽含量

作者: 王庚林 王莉研 董立军

作者单位: 北京市科通电子继电器总厂 北京市宣武区白纸坊东街31号 邮政编码100054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十四届全国质谱分析和检漏会议、第九届全国真空计量测试会

会议地点: 甘肃敦煌

会议语种:中文

页码: 4-10

在线出版日期: 2007-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）